外氣先通過MAU（外氣進行首次過濾）進入無塵室頂部，再通過FFU（二次過濾）將風送進無塵室內，送下來的風通過高架地板，再進入回風箱送到無塵室頂部。

附：FFU風機過濾單元特點
1.FFU風機外形尺寸（mm）：1175*575*320，噪聲52~56分貝；
2.FFU箱體和高效過濾器采用分體式設計,安裝,更換高效更方便；
3.風機采用新加坡PCI離心風機或者國產(chǎn)鋁葉輪離心風機,工作時間長達5萬小時以上；
4.并具有節(jié)能、計算機集中控制、運行穩(wěn)定、噪聲低、數(shù)字化調整等特性；
5.FFU采用獨特的風道風速均勻，整個出風面以0.45M/S風速均勻送出。
6.殼體可選用鏡面不銹鋼、覆鋁鋅板、冷板靜電噴塑制做美觀大方；
7． 風機采用進口高效離心風機，具有長壽命、低噪聲、免維護、震動小、可無級調速等特性，風機質量可靠，工作壽命長達10萬小時或以上。
8． 特別適合于組裝成超凈生產(chǎn)線，可根據(jù)工藝需要布置為單臺使用，也可將多臺串聯(lián)形成100級流水裝配線。
9． 殼體結構選用不銹鋼、鋁合金、覆鋁鋅板、冷軋鋼板材料制造，重量輕、抗腐蝕、防銹、美觀大方。
10． 產(chǎn)品出廠前均按美國聯(lián)邦標準209E，METOME塵埃粒子計數(shù)器逐臺掃描檢測，確保質量。
11. 新型配帶液槽高效過濾器的FFU更能保證FFU的密封性能。

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